应用场景

应用场景

惯性器件是利用微纳加工技术,将微传感器、微执行器与集成电路集成于一体的微型器件。MEMS惯性器件主要包括MEMS加速度计和MEMS陀螺仪,是惯性测量单元(IMU)的核心组成部分。