变电容式加速度传感器

变电容式加速度传感器

产品型号:

MSV6000

产品特点
● 宽频响、超低频特性
● 优越的长期稳定性
● 体积小、重量轻
● 低噪声
● 密封设计、通用性强
● 宽工作温度范围


性能指标

测试条件(除非另有说明):常温,5V。

指标特性 单位 MSV6000-02 -05 -10 -30 -50 -100 -200 -500 -1000 -100000
量程 ±02 ±5 ±10 ±30 ±50 ±100 ±200 ±500 ±1000 ±10000
带宽 Hz 0~250
(±5%)
0~500
(±5%)
0~1000
(±5%)
0~1500
(±5%)
0~1500
(±5%)
0~3000
(±1dB)
0~3000
(±1dB)
0~5000
(±1dB)
0~5000
(±1dB)
0~7000
(±3dB)
谐振频率 kHz 1.3 1.7 2.7 5.5 5.5 9.8 9.8 18.0 25.8 50.0
带内噪声密度 μV/√Hz 5 10 10 10 10 10 10 10 10 10
偏值 V 2.5±0.05 2.5±0.05 2.5±0.05 2.5±0.05 2.5±0.05 2.5±0.05 2.5±0.05 2.5±0.05 2.5±0.05 2.5±0.05
偏值年稳定性典型值 mg,typ 1.5 3 7.5 22 37.5 75 150 375 750 7500
(最大值) (max) (<5) (<15) (<25) (<75) (<125) (<250) (<500) (<1250) (<2500) (<25000)
偏值重复性 mg <0.2 <0.5 <0.75 <3.0 <4.0 <10 <15 <30 <75 <500
偏值温度系数 mg/℃ <0.2 <0.5 <0.8 <2.0 <4.0 <10 <20 <30 <75 <500
灵敏度 mV/g 1000±8 400±5 200±2 66.6±1 40±1 20±1 10±1 4±0.3 2±0.3 0.2±0.03
灵敏度年稳定性典型值 ppm 300 300 300 300 300 300 300 1500 3000 5000
(最大值)   (1000) (1000) (1000) (1000) (1000) (1000) (1000) (5000) (5000) (8000)
灵敏度温度系数 ppm/℃ 200 200 200 200 200 200 200 200 200 200
交叉耦合 mrad(max) <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10
分辨率 mg 0.1 0.2 0.3 1 2.5 5 10 20 30 200
非线性 % of FS <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <1 <1 <4
工作温度 -55~+125
冲击 g 10,000g(2ms半正弦,每方向3次冲击)
恢复时间 ms <1ms(1000g,1ms半正弦冲击)
振动 Hz 20g rms,30~2000Hz(随机噪声,每方向30分钟)
静电等级   Class 2(MIL-STD-833-G,1 Method 3015.7),HBM 2kV
工作电压 V 3V-7V(典型值5V)
尺寸 mm 9×9×2.6
重量 g <1

应用领域

● 航空、航天、兵器、轨交、产品结构振动测试、模态分析、健康监测

外形尺寸及接线定义

输出接口接线定义
2 VCC 电源
3 GND
15 SST 自检
16 Vout 传感器输出(固定宽度)
17 ORG-out 传感器滤波输出(宽带可调)
18 ECAP 滤波电容接口(½Vcc)
20 GND

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