工艺设计规则
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- 发布时间:2019-07-11 00:00:00
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►6英寸SOI MEMS工艺设计规则
本规则适用于6英寸SOI MEMS深刻蚀工艺。本规则规定了本工艺线的6英寸SOI MEMS工艺流程及相关设计规则。本规则为顾客工艺加工服务。
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